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    銷售熱線

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    主營產(chǎn)品:實(shí)驗(yàn)室檢測設(shè)備,離心機(jī),食品安全檢測設(shè)備,水質(zhì)分析,紫外可見分光光度計(jì),液氮罐,萬分之一天平,離心機(jī)生物實(shí)驗(yàn)室工程,移液器

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    等離子清洗機(jī)

    等離子清洗機(jī)

    更新時(shí)間:2025-06-01

    訪問量:1568

    廠商性質(zhì):代理商

    生產(chǎn)地址:

    簡要描述:
    V1000/1000X/1000XS等離子清洗機(jī)
    高頻輸出100~1,000W(V1000)/100~1,000W&1,500W(V1000X/1000XS),電極尺寸 280×280mm(V1000) 300×300mm(V1000X) 400×375mm(V1000XS)
    13.56MHz 高頻輸出的,搭載 RIE?DP 雙模式。
    使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的

    V1000/1000X/1000XS等離子清洗機(jī)

    高頻輸出100~1,000W(V1000)/100~1,000W&1,500W(V1000X/1000XS),電極尺寸 280×280mm(V1000) 300×300mm(V1000X) 400×375mm(V1000XS)
    13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機(jī),搭載 RIE·DP 雙模式。  
    使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng)多種用途。  
    特征  
    ●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
    ●搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
    ●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。  
    用途  
    ●硅晶圓的灰化及蝕刻
    ●基板表面污垢處理
    ●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
    ●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
    ●自然氧化膜·有機(jī)物去除
    ●界面活性處理
    ●表面污染物去除  
    規(guī)格  

    型號

    V1000

    V1000X

    V1000XS

    等離子模式

    DP/RIE

    高頻電源

    13.56MHz

    輸出功率

    Max1000W

    Max1000 & 1500W

    有效電極尺寸

    W280×D280mm

    W300×D300mm

    W400×D375mm

    電極

    平行平板

    2段電極(獨(dú)立)

    平板(多目的)

    反應(yīng)氣體

    聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝)

    真空泵(標(biāo)配)

    約1000L/min

    約1500L/min

    1000 & 1500L/min

    安全裝置

    門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等

     

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